안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20181
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
209 고진공 만드는방법. [1] 1008
208 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1008
207 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 999
206 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 996
205 anode sheath 질문드립니다. [1] 983
204 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 980
203 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 973
202 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 972
201 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
200 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 962
199 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 959
198 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957
197 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 954
196 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 949
195 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
194 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 920
193 Plasma Generator 관련해서요. [1] 910
192 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 889
191 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 881
190 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 878

Boards


XE Login