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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75788
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19473
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56680
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68068
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90361
98 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] newfile 529
97 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] new 528
96 간단한 질문 몇개드립니다. [1] new 524
95 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] new 523
94 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] newfile 522
93 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] new 522
92 핵융합 질문 [1] new 519
91 기판표면 번개모양 불량발생 [1] new 511
90 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] new 508
89 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] newfile 505
88 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. new 497
87 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] newfile 497
86 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] new 487
85 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] new 485
84 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] new 483
83 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] new 478
82 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] new 477
81 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] new 476
80 RF Sputtering Target Issue [2] newfile 471
79 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] newfile 464
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