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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해]
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플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation]
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GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
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N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마]
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안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정]
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CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
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안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [단위 Chamber의 PM 이력]
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파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능]
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Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance]
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OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단]
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OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델]
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
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RF 파워서플라이 매칭 문제
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O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
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Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)]
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코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density]
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Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath]
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skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해]
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ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다
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주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating]
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