Others 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다.
2020.07.12 22:53
안녕하세요?
저는 플라즈마에 관심이 많은 학생입니다.
다름이 아니라, 플라즈마 공정 시 어떠한 박막에 대하여 photon이 박막의 결합을 파괴하면서 플라즈마 손상을 줄 수 있다는 내용을 들었는데요,
자외선 측정기들을 찾아보니 mW/cm^2 의 값으로, 측정이 되어 값을 알 수 있는데,
예를 들어 어느 한 결합의 결합 에너지가 10 eV 라면, 자외선 측정기의 값과 결합에너지를 직접적으로 광자에너지의 단위로 비교가 가능할까요?
검색해보니 mW 는 시간을 도입하여 mW x sec --> mJ로 계산이 되고 이를 eV로는 변환할 수 있는 것 까지는 확인하였으나 /cm^2 를 어떻게 해야할지 잘 모르겠습니다.
고견주시면 감사드리겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
123 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 599 |
122 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 598 |
121 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 594 |
120 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 594 |
119 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 592 |
118 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 590 |
117 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 588 |
116 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 587 |
115 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 585 |
114 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 581 |
113 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 578 |
112 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 577 |
111 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 574 |
110 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 572 |
109 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 571 |
108 | RF Sputtering Target Issue [2] | 570 |
107 | 활성이온 측정 방법 [1] | 570 |
106 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 567 |
105 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 566 |
104 | 핵융합 질문 [1] | 561 |