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16 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 92
15 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 90
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11 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 83
10 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 79
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8 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 69
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6 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 54
5 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 51
4 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [1] 48
3 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 44
2 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 43
1 인가전압과 ESC의 관계 질문 [1] 18

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