Others 문의 드립니다.

2017.03.23 15:40

메탈 조회 수:858

안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.


3가지 질문을 드리려고 합니다.


염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.


1.  이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.


2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??


3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.

    진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?

     입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
41 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5115
40 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4126
39 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3914
38 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3672
37 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3390
36 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3362
35 질문있습니다. [1] 2544
34 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
33 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1442
32 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1413
31 플라즈마 관련 교육 [1] 1383
30 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1382
29 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1266
28 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1216
27 Group Delay 문의드립니다. [1] 1134
26 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1122
25 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1062
24 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1025
23 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 952
22 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 925

Boards


XE Login