Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:957

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20169
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68693
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92269
41 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5146
40 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4175
39 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3953
38 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3745
37 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3441
36 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3411
35 질문있습니다. [1] 2569
34 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1561
33 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1444
32 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1423
31 플라즈마 관련 교육 [1] 1405
30 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1387
29 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1286
28 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1239
27 Group Delay 문의드립니다. [1] 1144
26 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1132
25 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1114
24 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
» O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 957
22 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 947

Boards


XE Login