Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76679 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57151 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68673 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92189 |
| 82 | 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] | 1982 |
| 81 | 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] | 1973 |
| 80 | Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] | 1967 |
| 79 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1927 |
| 78 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1840 |
| 77 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1838 |
| 76 | wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] | 1788 |
| 75 | 터보펌프 에러관련 [1] | 1752 |
| 74 | CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] | 1718 |
| 73 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1657 |
| 72 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1489 |
| 71 | Ar plasma power/time [1] | 1435 |
| 70 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1419 |
| 69 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
 | 1407 |
| 68 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1381 |
| 67 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1374 |
| 66 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1357 |
| 65 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1303 |
| 64 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1288 |
| 63 | Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] | 1240 |