Others 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law]
2017.03.29 15:16
안녕하세요?
호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.
스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.
"플라즈마 구 예시"(링크)
플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.
그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의 이 전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.
그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?
손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] | 82730 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21983 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 58762 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 70391 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 96333 |
820 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. [Flow rate] | 146558 |
819 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134526 |
818 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종] | 96781 |
817 | Plasma source type [CCP, ICP, TCP] | 79891 |
816 | Silent Discharge | 64601 |
815 | VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리] [1] | 55367 |
814 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type] [1] | 48288 |
813 | 플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential] | 43814 |
812 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41431 |
811 | 대기압 플라즈마 | 40783 |
810 | Ground에 대하여 | 39739 |
809 | RF frequency와 RF power 구분 | 39221 |
808 | Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자] | 36459 |
807 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) [Matching Q factor와 negative ion] | 36176 |
806 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] | 35099 |
805 | PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] | 32796 |