Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소]
2019.11.20 18:31
안녕하십니까?
현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.
유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,
추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?
제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.
엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
수고하십시오.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] | 79258 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21270 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 58071 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69626 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 94422 |
| 820 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. [Flow rate] | 146401 |
| 819 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134508 |
| 818 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종] | 96700 |
| 817 | Plasma source type [CCP, ICP, TCP] | 79853 |
| 816 | Silent Discharge | 64589 |
| 815 | VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리] [1] | 55292 |
| 814 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type] [1] | 48217 |
| 813 | 플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential] | 43795 |
| 812 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
 | 41415 |
| 811 | 대기압 플라즈마 | 40765 |
| 810 | Ground에 대하여 | 39699 |
| 809 | RF frequency와 RF power 구분 | 39198 |
| 808 | Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자] | 36442 |
| 807 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) [Matching Q factor와 negative ion] | 36144 |
| 806 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] | 35070 |
| 805 | PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정] [1] | 32737 |