Etch 터보펌프 에러관련

2019.03.18 20:52

베컴 조회 수:1737

안녕하십니까?

진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.

고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우

터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.

제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.


터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
364 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2243
363 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2228
362 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2225
361 플라즈마볼 제작시 [1] file 2214
360 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2198
359 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2176
358 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2162
357 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2115
356 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2091
355 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2089
354 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2038
353 chamber impedance [1] 2002
352 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1955
351 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1950
350 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1949
349 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1949
348 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1946
347 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1946
346 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1943
345 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1943

Boards


XE Login