Collision cross section 질문

2011.12.14 13:52

박진오 조회 수:19707

안녕하세요.

플라즈마를 공부하는 직장인입니다.

리버만 교재로 보고 있는데,

atomic collision 부분에서,

cross section - energy graph 에서

elastic, ionization, excitation 이 세개의 그래프가 그려지고 이들이 증가하다가 최고점을 가지고 감소하는 경향을 가집니다.

근데 이 이유에 대해서 자세히 알고 넘어 가고 싶어 글을 남깁니다.

 

제가 판단할 떄는 collision frequency = ng* cross section *  velocity이고

이 것의 역수인 mean free time이 에너지가 증가하다가 충분히 충돌(?)할 시간도 안되기 때문에

cross section이 작아진다고 판단했는데 맞는 것인지 답변 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76681
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57152
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68673
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
247 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1164
246 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1162
245 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1160
244 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1158
243 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1154
242 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1154
241 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1153
240 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1152
239 공정플라즈마 [1] 1145
238 Group Delay 문의드립니다. [1] 1143
237 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1141
236 자기 거울에 관하여 1136
235 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1130
234 wafer bias [1] 1127
233 전자 온도 구하기 [1] file 1123
232 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1118
231 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1114
230 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1113
229 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1112
228 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1107

Boards


XE Login