안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.

 

저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.

 

다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,

주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.

 

드릴 질문은 다음과 같습니다.

1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언

 

2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)

 

3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.

 

바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.

 

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76650
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20147
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57147
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68668
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92124
147 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 704
146 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
145 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 700
144 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 694
143 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
142 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 693
141 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 690
140 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 683
139 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 678
138 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 670
137 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 668
136 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 667
135 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 660
134 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 655
133 Polymer Temp Etch [1] 649
132 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 634
131 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 632
130 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 624
129 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 623
128 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 614

Boards


XE Login