Sputtering UBM 스퍼터링 장비로...
2010.06.01 23:11
안녕 하십니까. UBM장비로 SUS 시편 두께에 따라 박막 두께도 달라지는지.. 달라지면 어떻게 달라지는지 Ti로 코팅하고 있는데 챔버를 열었을시 상온 과 챔버내 온도 차로 인하여 생기는 문제점들과 BIAS-DC ARC 장비로 챔버내에 하드 아킹이 일어나는 원인이 어떤것들이 있는지 알고 싶습니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73073 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17639 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65721 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86086 |
| 607 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21189 |
| 606 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21114 |
| 605 |
F/S (Faraday Shield)
 | 21051 |
| 604 | Breakdown에 대해 | 21039 |
| 603 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 20963 |
| 602 |
전자파 누설에 관해서 질문드립니다.
[1] | 20944 |
| 601 | 플라즈마란? | 20942 |
| 600 | 대기압플라즈마 진단 | 20938 |
| 599 | ccp-icp | 20893 |
| » | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20753 |
| 597 |
IEDF EQP에 대한 답변
| 20718 |
| 596 | plasma cleanning에 관하여.... | 20692 |
| 595 | 교재구입 | 20661 |
| 594 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20637 |
| 593 | 이온주입량에 대한 문의 | 20585 |
| 592 | Three body collision process | 20511 |
| 591 | Lissajous figure에 대하여.. | 20475 |
| 590 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 20435 |
| 589 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20382 |
| 588 | 확산펌프 | 20375 |