안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.
3가지 질문을 드리려고 합니다.
염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.
1. 이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.
2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??
3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.
진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?
입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20168 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68691 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92264 |
73 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 954 |
72 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 946 |
71 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 941 |
70 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 867 |
» | 문의 드립니다. [1] | 866 |
68 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 853 |
67 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 853 |
66 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 823 |
65 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 812 |
64 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 804 |
63 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 793 |
62 | Collisional mean free path 문의... [1] | 787 |
61 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 780 |
60 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 756 |
59 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 743 |
58 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 736 |
57 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
56 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 707 |
55 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 696 |
54 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 687 |