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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65686
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87 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1303
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85 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1277
84 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1275
83 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1260
82 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1236
81 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1227
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79 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1082
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77 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1059
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73 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1022
72 Group Delay 문의드립니다. [1] 994
71 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 979
70 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 977
69 플라즈마 코팅 [1] 975
68 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 974
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