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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69215
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118 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1859
117 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1783
116 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1777
115 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1773
114 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1741
113 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1609
112 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1591
111 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1564
110 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1500
109 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1494
108 플라즈마 관련 교육 [1] 1483
107 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1471
106 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1463
105 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1449
104 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1423
103 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1421
102 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1406
101 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1372
100 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1344
99 플라즈마 기초입니다 [1] 1311

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