안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.


제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.

다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.

진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.


제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.

1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리

2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리


이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,

이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.

제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.

답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.

제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.


답변 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76672
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92171
78 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1896
77 가입인사드립니다. [1] 1880
76 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1805
75 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1730
74 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1666
73 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1658
72 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1604
71 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1594
70 plasma 형성 관계 [1] 1499
69 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1475
68 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1443
67 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1438
66 ICP lower power 와 RF bias [1] 1428
65 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
64 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1393
63 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1347
62 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
61 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1311
60 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1268
59 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1256

Boards


XE Login