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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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매칭시 Shunt와 Series 값 [RF 전원 전력 전달 및 Load/Tune 계산]
[1] | 3028 |
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Load position관련 질문 드립니다. [Impedance matching]
[1] | 2998 |
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플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [최적 정합 조건 및 정합 시간]
[2] | 2922 |
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21 |
임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property]
[4] | 2878 |
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3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화]
[1] | 2364 |
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13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching]
[1] | 2203 |
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Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2175 |
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RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
[2] | 1852 |
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MATCHER 발열 문제 [Mathcer와 plasma impedance]
[3] | 1808 |
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15 |
Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching]
[1] | 1780 |
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14 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1719 |
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13 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량]
[1] | 1693 |
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12 |
RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning]
[1] | 1522 |
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11 |
Plasma Arching [Plasma property]
[1] | 1496 |
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10 |
RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
[1] | 1446 |
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9 |
PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 1279 |
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8 |
매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
[1] | 1149 |
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7 |
RF 파워서플라이 매칭 문제
| 1066 |
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6 |
CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
[1]  | 780 |
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5 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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