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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20151
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92182
42 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 732
41 ICP 후 변색 질문 723
40 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 723
39 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 706
38 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
37 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 693
36 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 668
35 Polymer Temp Etch [1] 650
34 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 635
33 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 607
32 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 605
31 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 602
30 RF Sputtering Target Issue [2] file 592
29 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 543
28 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 540
27 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 494
26 PECVD Uniformity [1] 489
25 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 479
24 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 471
23 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 463
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