Others 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [공동형 토치의 운전법 및 방전특성이해]

2012.11.09 20:21

파르코 조회 수:6419

30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [311] 79158
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21234
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58044
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69596
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94354
30 Plasma source type [CCP, ICP, TCP] 79839
29 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23528
28 Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 21351
27 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19461
26 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source] [1] 16105
25 냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power] 14475
24 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9883
23 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8653
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [공동형 토치의 운전법 및 방전특성이해] [2] 6419
21 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [Reaction rate 및 reaction rate coefficient] [1] file 6295
20 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건] [3] 4915
19 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 3598
18 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3387
17 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention] [3] 2853
16 ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity] [1] 2473
15 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 1965
14 ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition] [1] 1867
13 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 1652
12 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1531
11 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1334
쓰기
태그

Boards

XE Login