Plasma in general 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
2018.05.03 11:20
대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데,
관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76677 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20151 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57151 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68672 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92182 |
| 783 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144410 |
| 782 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134441 |
| 781 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95589 |
| 780 | Plasma source type | 79644 |
| 779 | Silent Discharge | 64557 |
| 778 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54872 |
| 777 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47801 |
| 776 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43689 |
| 775 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
 | 41219 |
| 774 | 대기압 플라즈마 | 40701 |
| 773 | Ground에 대하여 | 39378 |
| 772 | RF frequency와 RF power 구분 | 39059 |
| 771 | Self Bias | 36380 |
| 770 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35888 |
| 769 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34942 |
| 768 | PEALD관련 질문 [1] | 32611 |