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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp]
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Group Delay 문의드립니다. [마이크로파]
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance]
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플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
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Plasma Arching [Plasma property]
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DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단]
[1] | 1235 |
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RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias]
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Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어]
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안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
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Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]
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HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [Self bias와 dummy 공정]
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sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias]
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자기 거울에 관하여
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CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion]
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Decoupled Plasma 관련 질문입니다.[플라즈마 내 입자의 거동]
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anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘]
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CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias]
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고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격]
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진학으로 고민이 있습니다. [복수전공]
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RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]
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