안녕하세요. 저는 이번에 대학원 석사과정으로 들어오게 된 안서연입니다. 

현재 저는 RF마그네트론 스퍼터링을 이용해서 여러 파라미터를 가지고 공정을 진행하고 있습니다. 

Ti target에 Ar(50sccm)/O2(1sccm)을 넣고 파워만 조절(60,80,100,120)해서 막이 리니어하게 쌓이는지 보고있었습니다. 

60W의 경우 공정 중 plasma 색변화가 생겼는데 presputtering 단계에선 보라-핑크 빛을 띠고 있었습니다. (Ar/O2 모두 넣고 프리스퍼터링 진행) 헌데, 실제 공정에 들어가게되어 타겟의 셔터를 열고 난 후 플라즈마 색이 핑크 빛이 였으나, 약 10분정도 후 푸른색 플라즈마를 띄며 공정이 일어나게 되었습니다.

80W도 동일했으나 바뀌는 텀이 짧았고(약 2분 소요), 100,120W의 경우 셔터를 열면 바로 푸른색 플라즈마를 띄는 것을 볼 수 있었습니다.

공정 중 플라즈마가 압력과 파워의 영향을 받는다는 것은 이햐가 되지만, ( Analysis of plasma-induced morphological changes in sputtered thin films over compliant elastomer Debashis Maji¹ and Soumen Das¹ 참조)

시간이 지남에 따라 플라즈마 색이 변화하는 이유가 궁금합니다. 

혹시 관련 매커니즘이나, 참고할만한 서적, 혹은 개념같은 것을 알 수 있을까요?

읽어주셔서 감사합니다.