DC glow discharge DC glow discharge

2004.06.19 16:38

관리자 조회 수:23246 추천:269

DC glow는 음극과(negative electrode) 양극(positive electrode)의 전극에 DC 전압을 인가하여 형성된 전기장에서 가속된 전자들이 공간내 기체 분자나 원자들을 이온화 하여 플라즈마가 형성되게 됩니다. 공간 내에 플라즈마가 형성되면 전자들은 쉽게 양 전극(positive electrode)으로 흘러들어 가게 되고 이온은 질량이 상대적으로 무거워서 음 전극으로 쉽게 흘러들어 가게 되지 않습니다. 따라서 음극과 양 전극 근방에서 일어나는 상황이 서로 대칭적이지 않습니다. 결국 음극 근방에서 형성된 전위 차가 커서 큰 전기장이 형성되고 이 결과로 이온이 가속되게 되는데 이때 음극에 형성괸 전위분포를 음극 전압강하라 합니다. 이 현상은 음극에 형성된 sheath현상으로 이해 할 수 있으며 이 곳은 플라즈마 반응기 내에서 가장 전기장의 세기가 강한 곳으로 전기장의 방향은 음극판을 향합니다. 이 전기장으로부터 가속된 높은 에너지를 가진 이온이 음극 판에 입사하고 음극 표면과 충돌해서 방출되는 전자, 즉 이차전자들은 이 전기장으로부터 가속되면서 반응기 중심부로 날아가게 되고 이들은 다시 공간 내 이온화 반응에 기여함으로써 플라즈마를 유지하는데 매우 중요한 역할을 하게 됩니다. 따라서 음극에서의 전압강하는 플라즈마 유지에 매우 중요한 역할을 합니다. 이에 반해 양극쪽에서는 미약한 전압강하 부분이 있기는 합니다만 위에서 설명한 바와 같이 이 크기는 크지 않기 때문에 중요하게 다루지 않습니다. DC 방전에서 음극 전압강하, 음극 전압강하영역의 거리, 음극의 재질이 매우 중요한 인자임을 알수 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76715
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20170
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
53 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
52 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 665
51 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 634
50 plasma 공정 중 색변화 [1] 604
49 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
48 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 593
47 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
46 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
45 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 579
44 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 559
43 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
42 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
41 self bias [1] 527
40 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 504
39 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 487
38 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
37 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
36 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 481
35 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 468
34 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 454

Boards


XE Login