안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.

 

광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중

 

PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.

 

Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,

 

n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne

 

n1 = Ground State Density

n0 = Total Gas Density

n1sx = Ar 4s

ne = Electron Density

 

1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)

 

2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?

   - Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼

   - On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음

 

항상 좋은정보 감사드립니다~~

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
» 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 668
51 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 650
50 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 594
49 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 587
48 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 585
47 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 581
46 plasma 공정 중 색변화 [1] 571
45 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 567
44 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 555
43 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 550
42 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
41 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 525
40 self bias [1] 513
39 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 495
38 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 480
37 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 477
36 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 474
35 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
34 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 463
33 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450

Boards


XE Login