Plasma in general 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ?
2018.05.03 11:20
대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데,
관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20184 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
549 | Sputter | 15882 |
548 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15803 |
547 | Plasma potential이.. 음수가 될수 있나요?.. | 15647 |
546 | PMMA(폴리메틸메타크릴레이트)의 표면개질에 관해 [1] | 15645 |
545 | 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여....^ _ ^ ; | 15620 |
544 | 핵융합반응/플라즈마 | 15518 |
543 | In-flight plasma process | 15504 |
542 | 우주 플라즈마 | 15347 |
541 | 박막 형성 | 15299 |
540 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15157 |
539 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15052 |
538 | 우주 플라즈마 | 14785 |
537 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14785 |
536 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14734 |
535 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14731 |
534 | 우주에서의 플라즈마의 성분비 | 14585 |
533 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14457 |
532 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14447 |
» | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14141 |
530 | 플라즈마의 상태 | 14076 |
우리 연구실 장비에서는 해당 가스 실험은 어렵습니다. 아쉽지만 반도체 공동 연구소 등 화공과 시설을 사용하여야 할 것 같군요.