안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [144] 5911
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17362
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53185
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65117
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85209
439 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. 12244
438 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12203
437 ICP와 CCP의 차이 [3] 11294
436 플라즈마 살균 방식 [2] 11024
435 DC bias (Self bias) [3] 10385
434 RGA에 대해서 10274
433 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10244
432 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 9993
431 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 9955
430 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9640
429 대기압 플라즈마에 대해서 9438
428 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 9432
427 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9399
426 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9386
425 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9275
424 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9206
423 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9165
422 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 8936
421 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 8815
420 안녕하세요 교수님. [1] 8700

Boards


XE Login