ESC 정전척 isolation 문의 입니다.
2013.08.29 16:00
안녕하세요
이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.
정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.
또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.
isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.
선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.
안녕히계세요.
댓글 1
-
김곤호
2013.09.13 12:14
기본적으로 정전척은 하나의 전극입니다. 반응기 (chamber) 벽면과 전극은 분명 전기적으로 떨어져야 전력을 인가할 수 있을 것입니다. 또한 절연재는 절연 파괴 전압을 고려하시면 되고 여기서 전압은 설계된 정전척에 인가되는 전압을 허용할 수 있어야 함을 참고하여 관련 재료의 전기적 특성에 대한 정보를 찾아 보세요. 여기서 절연파괴현상은 절연재(PTFE) 뿐만아니라 전극간에 형성된 전기장에서 플라즈마가 개시되는 현상도 절연파괴 전압 (pachen's law: 파션의 법칙)에 준해서 전극에 전력을 인가하게 됩니다. 이에 대해서는 본 난에서 소개한 바 있으니 이를 참고해 보시기 바랍니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20181 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
| 509 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9519 |
| 508 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9506 |
| 507 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
| 506 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9226 |
| 505 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9026 |
| 504 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8980 |
| 503 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8918 |
| 502 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
| 501 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8719 |
| 500 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8642 |
| 499 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8618 |
| 498 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8594 |
| 497 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
| 496 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8572 |
| 495 | 핵융합에 대하여 | 8563 |
| 494 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8135 |
| 493 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 492 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
| 491 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 490 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8034 |