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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF Power reflect 관련 문의 드립니다.
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플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다.
[1] | 7669 |
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CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
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455 |
정전척 isolation 문의 입니다.
[1] | 7490 |
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454 |
ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
[1] | 6903 |
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453 |
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 6887 |
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안녕하세요, 질문드립니다.
[2] | 6552 |
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저온 플라즈마에 관해서
[1] | 6523 |
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450 |
플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요?
[1] | 6520 |
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저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ
[1] | 6435 |
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플라즈마 데미지에 관하여..
[1] | 6431 |
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플라즈마 기술관련 문의 드립니다
[1] | 6400 |
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액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다!
[1] | 6395 |
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445 |
플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6385 |
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444 |
O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다.
[1] | 6346 |
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공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제
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O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154
[1] | 6252 |
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자료 요청드립니다.
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
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RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이
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