Plasma Source 저온 플라즈마에 관해서

2014.05.02 23:41

노수현 조회 수:6041

안녕하세요

이번에 플라즈마에 연관된 조사를 하게된 고등학생입니다

근데 열 플라즈마는 다행히 내용을 찾을 수 있었지만

저온플라즈마는 어떻게 생성되는지 방법과 원리에 관한 내용은

너무 어렵거나, 잘 나와있지 않아서... 설명 부탁드립니당..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5627
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16931
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51354
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64230
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84398
392 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6495
391 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6467
390 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6352
389 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6326
388 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6316
387 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6231
386 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6212
385 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6209
384 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6078
383 자료 요청드립니다. [1] 6054
» 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6041
381 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 5990
380 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5956
379 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5855
378 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5710
377 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5694
376 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5663
375 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5369
374 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 5243

Boards


XE Login