30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77898
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20777
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57694
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69195
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93545
516 MFP에 대해서.. [1] 7869
515 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7730
514 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7713
513 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7699
512 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7428
511 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7177
510 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 7009
509 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6756
508 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6583
507 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6554
506 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6530
505 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6529
504 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6521
503 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6501
502 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6494
501 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6453
500 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6437
499 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6419
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6399
497 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6388

Boards


XE Login