30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20182
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
489 MFP에 대해서.. [1] 7823
488 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7704
487 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7649
486 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7617
485 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7226
484 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7087
483 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6647
482 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6574
481 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
480 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
479 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6492
478 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6470
477 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6465
476 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6436
475 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6418
474 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
473 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6409
» 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6365
471 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6269
470 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6247

Boards


XE Login