ESC 정전척 isolation 문의 입니다.

2013.08.29 16:00

정영석 조회 수:7609

안녕하세요

이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.

정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.

또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.

isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.

선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.

안녕히계세요.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76692
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
487 MFP에 대해서.. [1] 7821
486 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7702
485 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7647
» 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7609
483 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7214
482 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7082
481 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6641
480 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
479 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6542
478 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
477 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6491
476 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6468
475 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6464
474 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6434
473 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6417
472 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6409
471 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6399
470 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6363
469 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6265
468 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6236
쓰기
태그

Boards

XE Login