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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68003
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90232
417 플라즈마 색 관찰 [1] 3943
416 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3882
415 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3842
414 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3789
413 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3699
412 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 3694
411 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3636
410 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3634
409 Descum 관련 문의 사항. [1] 3567
408 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3521
407 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3508
406 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3499
405 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3419
404 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3409
403 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3379
402 ESC Cooling gas 관련 [1] 3377
401 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3371
400 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3317
399 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3296
398 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3234
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