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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66719
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88084
378 플라즈마 색 관찰 [1] 3583
377 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3475
376 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3434
375 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3392
374 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3374
373 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3368
372 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3346
371 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3296
370 ESC Cooling gas 관련 [1] 3220
369 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3204
368 Descum 관련 문의 사항. [1] 3175
367 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3148
366 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3133
365 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 3129
364 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3126
363 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3093
362 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2996
361 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2993
360 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2989
359 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2950

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