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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83512
338 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2966
337 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2857
336 플라즈마 색 관찰 [1] 2853
335 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2845
334 ESC Cooling gas 관련 [1] 2813
333 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2803
332 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2770
331 RPSC 관련 질문입니다. [2] 2767
330 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2739
329 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2701
328 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2658
327 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2640
326 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2594
325 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2550
324 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2459
323 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2458
322 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2450
321 Descum 관련 문의 사항. [1] 2415
320 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2413
319 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2412

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