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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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378 |
플라즈마 색 관찰
[1] | 3583 |
377 |
방전에서의 재질 질문입니다.
[1] | 3475 |
376 |
RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 3434 |
375 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1] | 3392 |
374 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3374 |
373 |
DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문
[2] | 3368 |
372 |
ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다
[2] | 3346 |
371 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3296 |
370 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3220 |
369 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3204 |
368 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 3175 |
367 |
Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 3148 |
366 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3133 |
365 |
챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다.
[2] | 3129 |
364 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
| 3126 |
363 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3093 |
362 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 2996 |
361 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 2993 |
360 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 2989 |
359 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 2950 |