번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [159] 73000
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17611
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55512
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86019
345 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2769
344 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2736
343 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2719
342 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2652
341 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2631
340 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2610
339 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2602
338 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2575
337 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2527
336 PR wafer seasoning [1] 2514
335 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2497
334 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2482
333 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2478
332 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2462
331 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2460
330 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2417
329 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2343
328 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2320
327 임피던스 매칭회로 [1] file 2311
326 Plasma etcher particle 원인 [1] 2311
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