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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83512
318 PR wafer seasoning [1] 2402
317 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2392
316 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2390
315 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2365
314 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2355
313 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2304
312 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2132
311 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2127
310 임피던스 매칭회로 [1] file 2115
309 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2111
308 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2111
307 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2109
306 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2063
305 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2059
304 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2049
303 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2046
302 Plasma etcher particle 원인 [1] 2026
301 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2018
300 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2013
299 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2006

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