Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76543 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
763 | RF에 대하여... | 31961 |
762 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 31945 |
761 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31636 |
760 | DC Bias Vs Self bias [5] | 31493 |
759 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 29947 |
758 | 플라즈마 밀도 | 29923 |
757 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29705 |
756 | matching box에 관한 질문 [1] | 29651 |
755 | 플라즈마의 정의 | 29454 |
754 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29394 |
753 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 29237 |
752 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 | 28895 |
751 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] | 28681 |
750 | Arcing [1] | 28626 |
749 | 반도체 관련 질문입니다. | 28577 |
748 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28412 |
747 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28278 |
746 | esc란? | 28057 |
745 | 탐침법 | 27805 |
744 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27744 |