번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75022
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18864
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56341
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66857
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88326
339 Plasma etcher particle 원인 [1] 2431
338 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2353
337 질문있습니다. [1] 2333
336 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2327
335 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2326
334 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2322
333 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 2320
332 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2317
331 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2315
330 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2308
329 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 2279
328 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 2270
327 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2243
326 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2242
325 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2238
324 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 2225
323 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2197
322 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2195
321 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2189
320 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2127
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