Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.

2017.01.04 11:49

최찬 조회 수:1861

안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.


지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.


RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.


한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.


혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요? 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [233] 75734
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19418
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56647
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67965
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90140
337 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2084
336 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2062
335 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2055
334 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2053
333 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2016
332 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2009
331 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2007
330 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1987
329 chamber impedance [1] 1939
328 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1938
327 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1907
326 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1900
325 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1891
324 가입인사드립니다. [1] 1864
» 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1861
322 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1831
321 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1820
320 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1811
319 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1809
318 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1809
쓰기
태그

Boards

XE Login