공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[268]
| 76727 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20183 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57167 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68699 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92278 |
369 |
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 2261 |
368 |
etching에 관한 질문입니다.
[1] | 2259 |
367 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2238 |
366 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2236 |
365 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2234 |
364 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2227 |
363 |
N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2216 |
362 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2173 |
361 |
플라즈마 관련 기초지식
[1] | 2128 |
360 |
플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2127 |
359 |
doping type에 따른 ER 차이
[1] | 2051 |
358 |
LF Power에의한 Ion Bombardment
[2] | 2016 |
357 |
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 2010 |
356 |
chamber impedance
[1] | 2009 |
355 |
ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요??
[1] | 2009 |
354 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 2005 |
353 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 1987 |
352 |
플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다.
[1] | 1984 |
351 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제
[1] | 1982 |
350 |
ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
[2] | 1972 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.