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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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LF Power에의한 Ion Bombardment
[2] | 1941 |
343 |
플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?
[1] | 1923 |
342 |
안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 1920 |
341 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1904 |
340 |
Remote Plasma 가 가능한 이온
[1] | 1902 |
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Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1] | 1893 |
338 |
유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
[2] | 1889 |
337 |
RF generator 관련 문의드립니다
[3] | 1888 |
336 |
가입인사드립니다.
[1] | 1880 |
335 |
압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다.
[1] | 1878 |
334 |
쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1876 |
333 |
RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다.
[1] | 1870 |
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CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1861 |
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1831 |
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RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1827 |
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매칭시 Shunt와 Series 값
[1] | 1808 |
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1791 |
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PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1782 |
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플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
[1] | 1773 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.