ATM Plasma 유전체 플라즈마

2004.06.19 16:54

관리자 조회 수:17544 추천:292

유전체 플라즈마에 관심이 많으시군요. 저희 실험실도 DBD 실험을 하고 있으며 자동차에도 적용할 수 있을 것으로 기대합니다.

질문에서 일반적인 DBD 반응기의 경우 구조가 전극+유전체+공기+유전체+전극의 구조로 되어 있고 그 이유에 대한 궁금증인것 같습니다. 전극 앞의 유전체가 하는 일은 발생한 플라즈마로부터 전극으로 직접 빠져 나가는 전하를 가두고 또한 이차전자를 방출하는 역할을 합니다. 만일 전극 사이에서 플라즈마가 발생되면 전극 사이에 있는 공기는 더 이상 절연성이 높은 유전체가 아닙니다. 오히려 전기 전도도가 좋은 물질, 즉 플라즈마와 공기 개스가 혼재된 상태의 유전 물질로 변하게 됩니다. 따라서 그 특성은 전극 표면의 유전체와는 본질적으로 다른 것입니다. 아울러 전극 간에서 일어나는 break down에 대하여 궁금해 하였는데 저희 강의록을 찾아 보면 Paschen curve에 대한 내용이 있습니다. DC 방전이 일어날 수 있는 조건을 개념적으로 설명해 놓았으니 참고하시기 바랍니다. 다라서 DBD에서 일어나는 방전은 corona 방전과는 달리 넓은 면적에서 방전이 일어나는 특징을 갖아 면방전이라 부르기도 하는 glow 방전의 일종이 됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
303 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485
302 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1479
301 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1476
300 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1471
299 plasma 형성 관계 [1] 1466
298 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1456
297 charge effect에 대해 [2] 1454
296 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1453
295 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1451
294 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1449
293 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1448
292 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1446
291 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1442
290 알고싶습니다 [1] 1438
289 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
288 Ar plasma power/time [1] 1429
287 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1427
286 MATCHER 발열 문제 [3] 1425
285 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1417
284 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1414

Boards


XE Login