Others 플라즈마와 자기장의 상호작용

2004.06.21 15:19

관리자 조회 수:17625 추천:281

플라즈마와 자기장의 상호 작용에 대한 구체적인 질문입니다ㅣ 이에 대한 자세한 답변을 본란에서 다루기는 너무 분량이 많습니다. 다
행하게도 일반작인 플라즈마 입문 책에서 이에 대한 내용을 매우 자세히 다루고있습니다. 일단 하전입자가 자기장 속에서 원운동을
하는데 이에 대한 내용은 일반물리학에서  LORENTZ FORCE를 배누면서 설명이 되어있으니 참고하시기 바랍니다. 이에 대한 이해가 있어야
자기장속에서 플라즈마 거동을 이해할수 있습니다.

플라즈마는 양전하를 띄는 이온과 음전하를 띄는 전자로 구성되어 있습니다. 이에 자기장이 인가되면 전자와 이온은 서로 반대반향으
로 원운동을 하게 됩니다. 회전 반경은 서로 다른데 가벼운 전자는 회전 반경이 작으며 회전 주기는 매우 빠릅니다. 상대적으로 이온
은 회전 반경이 크고 회전 주기는 매우 늦습니다. 이온니 회전하는 방향에서 생기는 류도 자기장은 외부에서 인가된 자기장과 반대방
향으로 플라즈마는 반 자성체를 뛴다고 할 수 있습니다.

이런 원운동으로 인해서 자기장이 인가되었을 경우 플라즈마는 자기장이 없는 경우에 비해 공간내에 퍼짐현사잉 줄어 들게 되며 '플
라즈마 구속'한다고 할 수 있습니다. 따라서 공간내의 플라즈마 밀도가 구속현상에 의해 높아지겠지요. 또한 이에 따라서 전자와 중
성입자간의 충돌률이 증가하게 되어 이온화률이 증가될 수 있습니다. 하지만 이온화에는이온화에 필요한 에너지가 요구됩으로 자기장
에 전자들이 구속되어 있다고 전자의 에너지가 높아지는 것은 아니므로 이온화률이 항상 증가됭다고는 말할 수 없겠지요.

아무튼 자기장이 플라즈마에 주는 영향에 대해서는 너무 많은 현상들이 있고 이에 대한 연누구가 플라즈마 연구자들의 대상이니 계속
이에 관심을 갖어 보시기를 바랍니다. 본인이 생각하신 것 보다도 더 신비로운 현상들이 플라즈마에 자기장이 인가됨으로써 발생하고
있습니다. 다음 기회에 말씀드리겠습니다.  
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20151
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92182
307 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1504
306 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1501
305 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1500
304 plasma 형성 관계 [1] 1500
303 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1489
302 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1475
301 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1463
300 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1462
299 charge effect에 대해 [2] 1460
298 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1457
297 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1453
296 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1451
295 알고싶습니다 [1] 1445
294 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1443
293 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1443
292 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1440
291 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1438
290 Ar plasma power/time [1] 1435
289 MATCHER 발열 문제 [3] 1429
288 ICP lower power 와 RF bias [1] 1428

Boards


XE Login