Matcher RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.

2021.07.05 14:38

카마 조회 수:1650

안녕하세요. 에칭 장비 Eng'r로 근무중에 있습니다.

한가지 문의 사항이 있어서 이렇게 글을 작성하게 되었습니다.

 

Matcher에 연결되어 있는 60Mhz RF 케이블에서 발열현상이 나타나고 있습니다.

 -> 케이블 피복 온도가 70도 이상 상승.

RF 케이블의 발열 현상이 정상적인 현상인지 아니 설계적 약점이나 매칭 불안정에서 

나타나는 현상인지 궁금해서 문의드립니다.

그리고 케이블 발열 현상이 어떤 문제가 발생될수 있는지 문의 드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 100520
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24219
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60853
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72845
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 104518
353 plasma 형성 관계 [Paschen's law, 플라즈마 주파수] [1] 1995
352 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단] [1] 1995
351 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD] [2] 1990
350 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1984
349 ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath] [1] 1979
348 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 1978
347 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [표면 화학 반응] [1] 1951
346 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 1951
345 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1949
344 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma] [1] 1937
343 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술] [1] 1907
342 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1902
341 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [ESC와 Chamber impedance] [1] 1895
340 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1881
339 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 1879
338 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1872
337 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 1846
336 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1836
335 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1821
334 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable] [1] 1814
쓰기
태그

Boards

XE Login