Others DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단

2017.02.20 19:49

조재규 조회 수:1007

안녕하세요


연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.


현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.

Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.

DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다

따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고

가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.

하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.


이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.

그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
283 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1412
282 ICP lower power 와 RF bias [1] 1406
281 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1399
280 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1395
279 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1391
278 플라즈마 관련 교육 [1] 1384
277 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1384
276 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1382
275 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1365
274 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1363
273 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1352
272 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1338
271 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1336
270 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1332
269 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1328
268 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1322
267 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1320
266 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1318
265 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1317
264 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1309

Boards


XE Login