Others [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문

2019.07.22 21:04

msg._.life 조회 수:1181

안녕하십니까, 식각공정 장비 담당하는 회사원입니다. 

장비에서 올라오는 신호로 Plasma에 대해 해석을 하는 경우가 있는지 알고싶습니다.

양산라인에서 쓸만한 Monitoring Method에 대해서도 알고싶습니다.


제 주 업무는 장비에서 올라오는 신호들을 분석하는 것인데요,

(저희 부서에서는 일본계 회사 제품을 사용하고있습니다.)


업무를 하다보면 제품 온도 변화 혹은 내부 상태의 변화에 따라 불량이 발생하는 경우가 자주 있습니다.

아쉬운 점은 이걸 장비 신호로 플라즈마의 공정상 영향을 미치는 정보들이 해석이 안되는 경우가 많습니다.

(특정 구간에서 불량이 검출되었으나 Trend 상으로 전혀 문제가 없어 보이는)


센서 심화를 더 시켜야 하는것인지 고민될때가 많습니다.(H/W적인 변경점을 주는것은 상당히 어렵습니다만)

연구실에서 사용하는 방법론들에 대해 알려주시면 많은 도움이 될 것 같습니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73027
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17616
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55516
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86027
206 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1067
205 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1063
204 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1060
203 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1056
202 자기 거울에 관하여 1049
201 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1041
200 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1039
199 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1038
198 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1030
197 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1022
196 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1021
195 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1017
194 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1003
193 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 994
192 Group Delay 문의드립니다. [1] 994
191 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 994
190 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 987
189 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 982
188 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 980
187 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 979
쓰기
태그

Boards

XE Login