Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
2021.08.12 16:29
안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.
플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.
플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.
이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73079 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17643 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65736 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86107 |
| 187 | 플라즈마 코팅 [1] | 975 |
| 186 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 968 |
| 185 | ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] | 946 |
| 184 | plasma 형성 관계 [1] | 942 |
| 183 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 932 |
| 182 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 920 |
| 181 | RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] | 914 |
| 180 | wafer bias [1] | 912 |
| 179 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
| 910 |
| 178 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 909 |
| 177 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 900 |
| 176 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 900 |
| 175 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 899 |
| 174 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 896 |
| 173 | 알고싶습니다 [1] | 896 |
| 172 | 공정플라즈마 [1] | 895 |
| 171 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 893 |
| 170 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 893 |
| 169 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 891 |
| 168 | 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] | 887 |
플라즈마 공부를 시작하셨군요. 환영합니다. 본 질문은 온도에 대한 개념으로 매우 중요한 질문입니다. 답을 드리기 전에, 이미 입문 과정에서 형광등 내에는 플라즈마가 형성되어 있음을 알고 있을 겁니다. 찾아 보시면, 플라즈마의 온도는 높은데 반해서 형광등을 만지면 그리 뜨겁지 않습니다. 그 이유를 찾아 보시면 큰 공부가 될 겁니다. (요즘 형광등을 찾기가 힘들 수도 있겠는데, light flower bulb, 혹은 밖에 기온과 벽의 온도차의 이유도 비슷한 경우라 할 수 있겠습니다. Hint: 밀도차이기 매우 크고, 입자가 가진 에너지를 온도로 표현합니다.-관련 설명은 게시판의 내용을 참고하시면 좋습니다.)