안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73081
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17645
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55522
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65740
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86113
187 플라즈마 코팅 [1] 975
186 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 970
185 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 946
184 plasma 형성 관계 [1] 943
183 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 934
182 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 920
181 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 914
180 wafer bias [1] 912
179 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 910
178 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 909
177 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 900
176 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 900
175 알고싶습니다 [1] 899
174 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 899
173 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 897
172 공정플라즈마 [1] 896
171 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 893
170 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 893
169 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 891
168 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 888

Boards


XE Login