안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75427
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89368
188 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 935
187 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 930
186 진학으로 고민이 있습니다. [2] 929
185 고진공 만드는방법. [1] 925
184 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 922
183 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 916
182 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 909
181 전자 온도 구하기 [1] file 909
180 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 908
179 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 907
178 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 906
177 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 902
176 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 900
175 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 899
174 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 894
173 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 891
172 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 890
171 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 890
170 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 888
169 Plasma Generator 관련해서요. [1] 870

Boards


XE Login