Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다.

2021.08.12 16:29

박준우 조회 수:1011

안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76715
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20170
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
228 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1103
227 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1087
226 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1079
225 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1071
224 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1065
223 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1059
222 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1056
221 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1056
220 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1056
219 Plasma Arching [1] 1051
218 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1050
217 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
216 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1037
215 플라즈마 코팅 [1] 1036
214 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
213 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1028
212 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1021
211 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1015
» 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
209 고진공 만드는방법. [1] 1008
쓰기
태그

Boards

XE Login