Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.
2022.04.19 11:40
안녕하세요
측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.
ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.
Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.
안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...
이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?
혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.
바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.
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최선의 설계는 전기공학적인 설계 방법이 있을 것 같습니다만, 저는 경험이 없어 즉답을 드리기 힘듧니다. 다만 제 실험에서는 물리적으로 잘 결합이 되고, 접지에 각별하게 신경을 써야 한다는 정도만 알고 있습니다. 특히 clamp로 묶는 일 들은 매우 신중하셔야 할 것 같고요. RF는 DC와 매우 다르게 다루어야 하는 점 꼭 신경쓰시기 바랍니다.