안녕하세요. 투명전극을 주제로 실험 및 공부를 하고 있는 학생입니다.

다름이 아니라 저희 연구실에서 sputter장비를 set up하고 있는데 해결을 못하고 있는 문제가 있어서 조언을 요청드립니다.

RF magnetron sputtering 장비이며 4in target 4ea 가 장착되어있는 chamber인데, RF파워 인가시, 초기에 plasma가 발생하였다가 reflect가 올라가면서 불안정적으로 변하면서 완전히 꺼지는 현상이 있습니다. chamber open후 target상태를 보면 target마다 다르지만 erosion track이 비 정상적으로 좁고 깊게 파이거나 damage를 입은것을 확인할 수 있습니다.

초기엔 target gun 의 magnet flux를 의심하였는데 타 회사의 gun에서도 비슷한 경향이 나타나고 있습니다.

1.혹시 matcher에서 mismatch가 발생하면서 이러한 현상이 발생할 수 있나요?(있다면 왜 plasma on초기부터 발생하지 않고 나중에 발생하는지 이유를 알 수 있을까요?

2.혹시 제가 고려하지 못한 다른 제어 요소가 있는지 여쭤보고 싶습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
163 라디컬의 재결합 방지 [1] 778
162 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 776
161 Collisional mean free path 문의... [1] 775
160 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 757
159 Self bias 내용 질문입니다. [1] 745
158 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 745
157 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 743
156 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 734
155 교수님 질문이 있습니다. [1] 732
154 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 728
153 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 725
152 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 725
151 ICP 후 변색 질문 722
150 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 719
149 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 718
148 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 708
147 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 705
146 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
145 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 701
144 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 698

Boards


XE Login